如何组件MEMS开关

可置的双线阻抗器，它是由SMT和RF MEMS组件组成，表示为MEMS和SMT混合使用的演示者。选择了双截线混合阻抗调谐器结构故意这样做，因为它固有地包含大量MEMS开关，每个开关都需要一个单独的偏置电阻。启东SMT贴片加工在这样，很多这些组件带来的寄生效应因为强调了联系带来的影响。的混合调谐器的制造分两个阶段进行，结合里面五掩模表面微加工工艺以及SMT电阻器的安装过程。测量是然后在频段以25种不同的开关组合执行，覆盖了设计的18 GHz频率。根据测量结果，构建模型考虑复杂混合结构的每个部分包括各个MEMS开关，SMT电阻器以及所有这些组件之间的连接。通过这个模型，它是证明了复杂混合结构的响应可以通过使用个体模型来组件。这种方法在全波电磁和测量中产生结果。可以得出结论，MEMS和SMT组件可以用在混合电路中，这种混合电路的性能可以预先具有很多原因的系统本文提出的系统建模方法。还显示了在不存在电阻的情况下可以使用分立电阻对MEMS较好的很多工艺电阻层阻抗调谐器。