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本文提出了一种系统的建模方法RF MEMS和SMT组件在其中的混合应用用于实现双截线阻抗调谐器。故意选择调谐器结构作为建模方法,因为调谐器不光包含大量MEMS开关需要相同数量的偏置电阻,但同时具有两种寄生特性组件和连接。此选择也用于还要强调的影响,因为使用了许多组件。启东SMT贴片加工混合调谐器分两个步骤进行,其中先使用在玻璃基板上进行里面表面微加工工艺。然后,将SMT电阻器安装在MEMS阻抗调谐器上芯片将直流线与射频线解耦。在这一点上,通过以下方式系统地构建了1-20 GHz频带中的电路模型:结构的每个部分的影响,例如作为MEMS和SMT组件以及可以观察到这些组件之间的相互作用。的在1–20 GHz中比较模拟和测量结果设计频率为18 GHz的频段的可以很容易地观察到。