处理能力和内存限制。而且，这样的模拟不会给出完整的见解。但是，由于在中面临的问题，通过联电路模型可能会受到质疑。在本文中，详细说明了这一点，并显示了仔细的建模产生比较好性。作为案例研究，存根与检查了五个MEMS开关，其中第四个MEMS开关处于下降状态。启东SMT贴片加工中给出的比较表明，两者是一样的，在较高频段包括设计的频率。制作混合阻抗调谐器的制造包括两个部分，分别是MEMS制造和安装SMT电阻器。 MEMS阻抗调谐器、先使用里面表面微机械加工过程，包括三个金属层，一个介电层。的该工艺在Pyrex 7740玻璃基板上实施，相对介电常数为er¼4：6，损耗角正切为tand¼0：005。图5总结了处理流程。这个过程开始用200/2000 A厚的Ti / Au溅射，即用于电镀金。该层也是用于射频和直流线路。在其上电镀2毫米厚的金层粗CPW线的顶部。剩余的Ti / Au层被湿蚀刻。沉积3000A厚的Si3N4层使用等离子体增加化学蒸气的直层沉积并通过反应离子蚀刻（RIE）进行图案化。